ZAF correction
简介
ZAF修正是厚试样微区成分定量分析中应用最广的方法，其中Z表示原子序数修正，A表示吸收修正，F表示二次荧光修正.
测出试样中i元素的标识谱强度Ii和纯i元素标样的强度I0i后，得到试样中i元素的强度比值ki＝Ii/I0i再乘上Z、A、F修正因子后即可得到i元素的成分ci，即
ci＝ki(ZAF)i
Z修正因子的来源是： 试样平均原子序数和纯标样原子序数不同，引起阻止本领和背散射效应的不同. 阻止本领是单位质量路程上入射电子能量的衰减律，它随原子序数的增大而减小. 背散射效应指入射电子中有相当一部分电子带着相当大的能量背散射出来，背散射电子百分数和平均能量都随原子序数的增大而增大. 这两种效应影响X射线光子的产生数和深度分布.
A修正因子的来源是： 试样和标样对i元素标识X射线出射过程的吸收不 .
F修正因子有两部分， 它们
标识谱引起的二次荧光效应和连续谱引起的荧光效应.纯标样的标识谱二次荧光效应可以忽略.试样中A元素标识谱能量如超过B元素内层电子临界激发能不很多时，会激发不可忽略的B元素的二次荧光(相对于电子束激发的B元素的一次荧光而言). 连续谱二次荧光随平均原子序数的增大而增大.
ZAF因子的计算有一系列公式，它们的计算还需引用各元素的一系列物理量(如各元素的临界激发能、平均电离能、X射线荧光产率、对不同波长X射线的质量吸收系数、标识谱光子能量等). 微区成分分析仪器一般均已编好软件，可以在联机微机上迅速完成多元素试样的ZAF修正.
用X射线物理计算出I0i，再进行ZAF修正，可以得到无标样定量分析值，其准确度离有标样分析值差得很少. 也可以通过直接计算试样中元素成分和标识谱强度之间的关系来实现无标样定量分析.