Ohmic contact
简介
欧姆接触是指一种金属和半导体的接触，这种接触的接触电阻与半导体体电阻或展开电阻相比可以忽略. 欧姆接触是半导体器件中常用的一种接触，当半导体器件加上电压时，这种接触的电压降远小于器件任何作用区的电压降，它的电流-电压特性在正反两个方向偏置下都呈线性，这种非常小的电压降的存在，对半导体器件特性的影响一般可以忽略.
不是任意一种金属和任意一种半导体的接触都能形成欧姆接触的. 研究表明：金属同高掺杂浓度半导体的接触或具有低的接触势垒高度的金属和半导体接触，或兼有这两种情况的金属和半导体的接触才能形成欧姆接触. 例如含少量(如1%)Sb的Au-Sb合金与N型Ge或Si的接触，Al与P型Si的接触以及Al与高掺杂N型Si的接触都能成为良好的欧姆接触.
在超大规模集成电路的发展中，为了加速信号在集成电路中的传输，其中重要的措施之 一是进 一步减小欧姆接触电阻的数值，所以为实现更小欧姆接触电阻而进行的选取有关金属材料和发展有关欧姆接触工艺的研究是一个很有实用意义的研究课题.