埋层

buried layer

简介

在集成电路制作中，为了减小双极型晶体管的集电极串联体电阻，往往在作为集电区的轻掺杂N型外延层下面的P型衬底内，通过离子注入或扩散工艺埋入一重掺杂N⁺层(如图所示)，这一重掺杂N⁺层就称为埋层.由于这一埋层的加入减小了双极型晶体管的集电极串联体电阻，改善了饱和压降等集成电路中双极型晶体管的特性，从而可改善整个集成电路的特性.

集成电路中埋层示意图

拓展资料

填埋层  深埋层  SiC埋层