piezoelectric thin films
简介
压电薄膜是一类通过蒸发、溅射、化学沉积、气相外延、流延、辊轧等成膜技术制成的具有压电性能的薄膜材料. 其主要包括无机压电薄膜(如ZnO、AlN和CdS等)、有机压电薄膜(如聚氟乙烯PVF、聚偏氟乙烯PVF2等)和有机无机复合物压电薄膜(如PVF2-PZT、PVF2-BaTiO3等)三大类. 多晶结构的无机压电薄膜，尤其是ZnO和AlN薄膜的机电耦合系数接近于其单晶值，它们的c轴择优取向的多晶薄膜具有与其单晶相近的压电性. 由于这些多晶压电薄膜可以作得很薄，并且能于其中激励出很纯的横波或纵波的厚度振动模，因此，可以用来制作高频及微波声学用的压电换能器及声表面波器件.电阻率极高的AlN薄膜及用Mn和Cu掺杂改性的ZnO薄膜，还可以用来制作适用于微机、录象机及电子钟表的音叉谐振器. 以PVF2为代表的有机压电薄膜，其压电性能也较为优异，可以制成无机薄膜无法得到的大面积而柔软的压电薄膜，且其声阻抗与空气的声阻抗相匹配，使其在电声应用中具有特殊的优越性. PVF2薄膜除了具有很好的压电性能外，还具有热(释)电性及二次谐波产生等非线性光学效应. 因此，它是一种具有多种功能的功能电子材料. 复合压电薄膜是综合某些无机压电材料的高压电性与有机压电材料的高柔软性两方面优点而制成的压电薄膜材料.选用不同的无机压电材料及不同的有机高分子压电聚合物，改变它们之间的配比，可以得到满足不同应用要求的大面积的柔性压电薄膜. 它在压电换能器、热电换能器及力敏传感器等方面都有很广泛的应用前景.
拓展资料
PVDF压电薄膜 ZnO压电薄膜 AlN压电薄膜 双压电薄膜 铅基压电薄膜 PVDF压电薄膜传感器 压电薄膜传感器 镱薄膜 铬薄膜 氧敏薄膜