通过测量被分析试样的X射线荧光波长及强度来测定物质化学组成的装置。X射线荧光光谱仪分为波长色散谱仪和能量色散谱仪两类。常用的为波长色散谱仪，一般由激发源、晶体分析器、检测系统和读数记录系统等部分组成。其结构如图。一般以X射线管产生的一次X射线为激发源。其检测系统，常用的检测器有正比计数器、闪烁计数器、半导体检测器等。记录系统，主要由放大器、脉冲高度分析器、显示部分组成。可应用于：①可测元素范围从5号硼到92号铀;②分析的浓度范围从常量组分到微量元素; ③荧光X射线光谱简单、谱线干扰少，尤其
适用于稀土、锆铪等元素的分析;④其优点简便、快速、准确，可进行样品的无损分析。广泛应用于海洋、冶金、地质、化工、机械、石油、建材等领域，尚可用于测定涂层和金属薄膜的厚度和组成以及动态分析等。
荧光光谱仪——X射线