材料百科

声学显微术

2023-05-02

acoustic microscopy

简介

利用声显微镜对弹性波和试件的
相互作用进行测量,以显示材料内部
声不连续性的一种无损检测技术。可
利用的装置有:①激光扫描声显微镜。
采用连续均匀的超声平面波以透射方
式工作,入射波与声不连续性相互作
用后,射到透光塑料片的镀金层上,用
激光束扫描此层,反射束经处理可显
示出扫描区的声幅度图像。分辨能力
为10~100μm,最适合于探测平板、微
电子器件。②扫描声显微镜。用脉冲聚
焦超声束以反射方式工作,通过对试
件在水平面上作光栅式扫描,可获得
按幅度值显示的焦平面图像。分辨能
力可达0.5μm。将试件表面在水中先
调至声束焦点处,而后沿法线方向上
移,根据所获得的声幅度变化曲线,可
对材料的弹性、晶粒和晶界作出表征,
由于所用频率常为25~400MHz,更
高可至2000MHz,能量衰减大,实际
可测深度限于表面和亚表面层。