x-ray energy dispersive spectroscopy
简介
简称EDS。在透射和扫描电子显
微镜中用X射线谱仪显示X射线强
度与X射线能量关系的图谱，按谱峰
能量来确定被测样品中的元素及其含
量的一种测试技术。与波长色散X射
线谱(WDS)的原理相同。由于各种
元素发射出具有特定能量(或波长)的
特征X射线，利用铍窗口锂飘移硅探
测器的X射线能谱仪来探测能量色
散X射线谱(EDS) 以确定元素的种
类及含量。EDS的测量效率高，但分
辨率不及波长色散X射线谱。在定量
分析时，透射电镜中对薄样品采用比
例法(又称Cliff-Lorimer法);扫描电
镜中对原样品采用原子序数效应、吸
收效应、荧光效应修正法(ZAF法)。
对超轻元素 (原子序数小于10的元
素)的定量分析，EDS还存在着测量
和修正的问题。