inductance coupling plasma mass spectrometry,
简介
简称ICP-MS。利用电感耦合等
离子体 (简称ICP) 光源使试样离子
化，通过测量离子质量与电荷的比值
(m/e)和该离子的相对强度来确定物
质组成和结构的超痕量分析技术。分
析试样在ICP离子源中产生各种离
子，并按质荷比值大小依次分开，通过
离子检测器检测，得到相应的质谱图。
根据质谱图中谱峰出现的位置和信号
强度进行化学成分分析。ICP-MS能
检测多种元素，除H、He、Ne、Ar以
外，几乎所有元素均能检测。具有灵敏
度高、线性范围宽、质谱干扰和基体效
应较小、谱峰简单、多元素同时分析、
分析速度快、检测限低等特点。广泛用
于地质、环境、冶金及核材料等领域，
在半导体等高纯材料分析方面也有应
用。