高纯六氟化硫

SF₆，纯度分99.9%、99.99%、
99.995%三档，在常温常压下为无色、无臭、
无毒的气体。不燃烧，化学性质稳定，无腐
蚀性，电绝缘性能和消弧性能好，微溶于水。

一般以工业六氟化硫为原料，经吸附干
燥、低温固化得产品。可用于电子设备、雷
达波导、粒子加速器、变压器、避雷器作气
体绝缘体。也用在等离子蚀刻、激光材料和
光导纤维材料的生产及仪器分析中。